端面研磨機(jī)床專(zhuān)用陶瓷超硬磨盤(pán) 研磨盤(pán)
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陶瓷研磨盤(pán)的產(chǎn)品特點(diǎn)
陶瓷研磨盤(pán)，用于對(duì)陶瓷原料進(jìn)行研磨，使得陶瓷原料研磨更充分，研磨盤(pán)是用于涂敷或嵌入磨料的載體，使磨粒發(fā)揮切削作用，同時(shí)又是研磨表面的成形工具。陶瓷研磨盤(pán)多用于半導(dǎo)體硅片研磨、單晶硅的加工領(lǐng)域等。
目前，采用陶瓷研磨盤(pán)研磨半導(dǎo)體硅片是優(yōu)越更前沿的研磨方法。采用雙面研磨工藝對(duì)切割好的硅片進(jìn)行研磨，通過(guò)改善研磨工藝（磨盤(pán)材質(zhì)、研磨液、研磨壓力及研磨轉(zhuǎn)速等）來(lái)提高研磨片的質(zhì)量；尤其是使用陶瓷盤(pán)代替鑄鐵盤(pán)，避免研磨時(shí)對(duì)晶片的主面造成傷痕或污染，減少了金屬離子的引入，可減少硅片的后續(xù)加工量，縮短了后續(xù)工序（腐蝕）時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率，而且減少了硅片加工的損耗，提高了硅片的利用率。
陶瓷CBN研磨盤(pán)的硬度高于普通磨料。高硬度意味著切削能力更強(qiáng)、更鋒利；CBN有高的性，意味著它比普通磨料更難磨損；保持磨粒形狀的能力是CBN作為磨料的主要特性之一；CBN的抗壓強(qiáng)度很高，這意味著在惡劣的條件下使用時(shí)它能保持顆粒完整而不易破碎；CBN有很好的導(dǎo)熱性，在磨削時(shí)可實(shí)現(xiàn)冷切削。
1、高硬度、高韌性立方氮化硼（CBN）是人類(lèi)合成的硬度僅次于金剛石的超硬材料，遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于普通剛玉與碳化硅磨料，因而具有更佳的切削能力、更鋒利。
2、熱穩(wěn)定性好。立方氮化硼（CBN）可以承受1250-1350℃的高溫，比金剛石的耐熱性800℃還要高；在研磨和切削鐵質(zhì)材料時(shí)，不會(huì)出現(xiàn)粘屑現(xiàn)象，在磨削淬火鋼、高釩高速鋼、鋁高速鋼等對(duì)磨削溫度較為敏感的金屬材料是理想的砂輪。
3、化學(xué)惰性強(qiáng)。立方氮化硼（CBN）不易和鐵族元素產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，所以對(duì)于各種高速鋼、工具鋼、模具鋼、高合金淬硬鋼、鉻鋼、鎳合金、粉末冶金鋼和高溫合金等溫度高、硬度高、熱傳導(dǎo)率低的材料的磨削非常適宜。
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